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三氢化砷传感器

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三氢化砷又名砷烷(AsH3),是一种毒性很强且有蒜臭味的可燃气体。尽管如此,砷烷在半导体工业中仍广泛使用,同时也可用于合成各种有机砷化合物。砷烷传感器是用来检测空气中三氢化砷含量,以确保所处环境中人员生命安全为目的传感器。主要可用于微电子和半导体制作及化工等行业的有毒气体监测中。

砷烷传感器在传统的二电极电化学毒气传感器的基础上,通过增加参考电极将传感器的电极数增加到了三个。三电极砷烷传感器比普通的二电极传感器在外部多了一个稳压电路,并同内部的参考电极一起起到稳定感应电极电动势作用。如此,即使负电极持续极化也不会对感应电极产生任何影响,感应电极电动势也不会超出范围。所以三电极砷烷传感器具有更广的测量范围和线性度。

型号 量程 使用寿命 响应时间 灵敏度 重量 输出 线性度 零漂 
AsH3 3E 1 LT 0-1ppm 2年 <30s 1400±450nA/ppm 4.5g 电流 <10%全量程 <±40ppb 
AsH3 3E 1 F LT 0-1ppm 2年 <30s 1400±450nA/ppm 4.5g 电流 <10%全量程 <±40ppb 



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 三氢化砷传感器.pdf


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