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AWM2300V

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描述 :
AWM2000 系列微桥气体质量流量传感器为无源器件,包含两个惠斯顿电桥。发热控制电路和传感桥供电电路在相应操作中均需使用。这两套电路在传感器中未装配,应用中需另加。图 3 中的差分放大器作为传感桥的有效接口,可有助提高增益和调节传感器输出电压偏移。

特点:
双向传感功能
实际气体质量流量传感
微差压传感
AWM2000 系列订购指南(电压 10.0 ±0.01 VDC,温度 25℃条件下的性能特点)

目录 AWM2100V AWM2150V AWM2200V AWM2300V
流量范围(满量程) ±200 sccm ±30 sccm
±1000 sccm
压力范围(见应用指南 #1)

±4.0" H2O (10 mBar)±4.0" H2O (10 mBar)
输出电压 @ 标定点 30 mV @ 100 sccm 11.8 mV @ 25 sccm 20 mV @ 2.0" H2O 50 mV @ 650 sccm
热零点偏移,典型值
+25 至 -25℃ , +25 至 85℃
±0.20 mV ±0.20 mV ±0.20 mV ±0.20 mV
热输出电压偏移,最大值
+25 至 -25℃
+25 至 +85℃
+2.5% Reading
-2.5% Reading
+5% Reading
-5% Reading
+22% Reading (Note 2)
-22% Reading (Note 2)
+5% Reading
-5% Reading
重复性与迟滞性,最大值 ±0.35% Reading ±0.35% Reading ±0.35% Reading ±1% Reading
最小值 典型值 最大值

激励电压 (VDC) (Note 1) 8.0 10±0.01 15
功耗 (mW) 30 50
零点电压 (mV) -1.0 0.0 +1.0
响应时间 (msec) 1,0 3.0
共模压力 (psi) 25
传感器电阻



2 脚 -1 脚 , 6 脚 -1 脚 -
传感器电流



2 脚 -1 脚 , 6 脚 -1 脚
0.3 0.6
温度范围 工作温度 :-25o 至 +85℃ (-13o 至 +185oF) ;储存温度 :-40o 至 +90℃ (-40o 至 +194oF)
引脚 2,54 mm (.100") 中心距,0,635 mm (0.025") 封装厚度
重量(克) 10.8
冲击 100g 峰值(5 次冲击,6 轴向)

注 :
1. 输出电压随电源电压成正比变化。
2. 差压器件的温漂主要由气体浓度随温度变化而引起。见应用指南 1。
3. 为避免损坏,最大允许流量变化率为 5 SLPM/1.0 sec。




AWM2300V气体传感器样本

气体流量.pdf





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