描述 :
AWM2000 系列微桥气体质量流量传感器为无源器件,包含两个惠斯顿电桥。发热控制电路和传感桥供电电路在相应操作中均需使用。这两套电路在传感器中未装配,应用中需另加。图 3 中的差分放大器作为传感桥的有效接口,可有助提高增益和调节传感器输出电压偏移。
特点:
● 双向传感功能
● 实际气体质量流量传感
● 微差压传感
AWM2000 系列订购指南(电压 10.0 ±0.01 VDC,温度 25℃条件下的性能特点)
| 目录 | AWM2100V | AWM2150V | AWM2200V | AWM2300V |
| 流量范围(满量程) | ±200 sccm | ±30 sccm |
| ±1000 sccm |
| 压力范围(见应用指南 #1) |
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| ±4.0" H2O (10 mBar) | ±4.0" H2O (10 mBar) |
| 输出电压 @ 标定点 | 30 mV @ 100 sccm | 11.8 mV @ 25 sccm | 20 mV @ 2.0" H2O | 50 mV @ 650 sccm |
热零点偏移,典型值 +25 至 -25℃ , +25 至 85℃ | ±0.20 mV | ±0.20 mV | ±0.20 mV | ±0.20 mV |
热输出电压偏移,最大值 +25 至 -25℃ +25 至 +85℃ | +2.5% Reading -2.5% Reading | +5% Reading -5% Reading | +22% Reading (Note 2) -22% Reading (Note 2) | +5% Reading -5% Reading |
| 重复性与迟滞性,最大值 | ±0.35% Reading | ±0.35% Reading | ±0.35% Reading | ±1% Reading |
| 最小值 | 典型值 | 最大值 |
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| 激励电压 (VDC) (Note 1) | 8.0 | 10±0.01 | 15 |
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| 功耗 (mW) | - | 30 | 50 |
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| 零点电压 (mV) | -1.0 | 0.0 | +1.0 |
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| 响应时间 (msec) | - | 1,0 | 3.0 |
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| 共模压力 (psi) | - | - | 25 |
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| 传感器电阻 |
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| 2 脚 -1 脚 , 6 脚 -1 脚 | - | 5 | - |
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| 传感器电流 |
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| 2 脚 -1 脚 , 6 脚 -1 脚 |
| 0.3 | 0.6 |
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| 温度范围 | 工作温度 :-25o 至 +85℃ (-13o 至 +185oF) ;储存温度 :-40o 至 +90℃ (-40o 至 +194oF) |
| 引脚 | 2,54 mm (.100") 中心距,0,635 mm (0.025") 封装厚度 |
| 重量(克) | 10.8 |
| 冲击 | 100g 峰值(5 次冲击,6 轴向) |
注 :
1. 输出电压随电源电压成正比变化。
2. 差压器件的温漂主要由气体浓度随温度变化而引起。见应用指南 1。
3. 为避免损坏,最大允许流量变化率为 5 SLPM/1.0 sec。
AWM2300V气体传感器样本
气体流量.pdf