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高性能单晶硅谐振压力传感器高性能单晶硅谐振压力传感器，采用电磁激励和电磁拾振方式工作， 输出为频率信号， 抗干扰能力强， 稳定性好， 不需MD转换 ， 既能测量绝压， 也能测量差压 ， 精度0.1％ ， 其量程可根据具体应用需求通过调整制作工艺参数实现。 技术应用领域该传感器是压力传感器 中的一 种高端产品， 非常适用于一些特殊环境如航空、 航天、 气象、 地 质、 航海、 油井和工 业自动化等领域中的压力测量 。 该产品一旦研制成功， 将打破国外同类产品对我国的技术封锁和感器传感器芯片的垄断 ， 并填补我国此类传感器产品的空白， 且国内外的市场需求量都很大。 技术专业领域涉及微电子工艺、 微机械加工等技术领域。 |
