技术概述：

高精度压力传感器采用先进的换能机制，利用单晶 硅的良好机械特性，将压力的作用应力转化为机械部件 的固有频率并输出。该传感器主要采用以下几项技术：

（1）采用基于双谐振器的原位温度自补偿技术， 有效解决了传感器的温度漂移问题，实现了全温区 0.01% FS 精度等级； 

（2）采用全温区稳幅闭环控制技术，有效降低了 传感器的非线性误差，结合温度自补偿技术，有效拓 展了传感器温区和提升了宽温区精度； 

（3）传感器采用圆片级的真空封装技术，保证了传 感器的综合性能，有效抑制了传感器的时间漂移问题。

技术指标：

技术特点：

基于双谐振器设计的高精度硅谐振压力传感器综合精度高、分辨率高、稳定性好、可靠性强、温度跟随性好、温度范围和测量范围大、体积小、功耗低、成本低，能够批量化制造。

先进程度 ：

国际先进。

技术状态 ：

小批量生产、工程应用阶段。 

适用范围 ：

（ 1）航空大气数据系统。军用飞机的航空大气数据系统采用综合精度优于 0.02%FS 的高精度压力传感器，用于测量飞机飞行的高度、速度、攻角等参数。
（ 2）工 业 控 制 领 域。 高 精 度 压 力 传 感 器 在 工业控制领域中常用于介质压力的测量或压力基准，其典型产品是数字压力计、压力控制器和压力校准仪。
（ 3）气象领域。高精度大气压力传感器作为气压测量的核心部件，广泛应用于国家和地方的气象站、气候站、农业站等。

KSPS超高精度压力变送器