乙硼烷是一种无色有臭味的剧毒气体，其化学式为B2H6，它是目前能分离出来最简单的硼烷。乙硼烷能与空气形成爆炸性混合气体，并且能在潮湿空气中发生爆炸性燃烧。因此，其危险性非常高。然而，乙硼烷却可作为火箭和导弹的高能燃料，并且在金属焊接、烯烃类产物的聚合、半导体制造的扩散和氧化、外延成长、气相淀积中起到重要的作用。所以，在此类行业中必须使用乙硼烷传感器对安全性加以监测。

乙硼烷传感器采用的是电化学的原理。利用扩散进入传感器中乙硼烷在感应电极处发生氧化反应，从而通过测量与气体浓度值相关的感应电流大小，便可以得到被测气体中乙硼烷的含量。在该气传感器中，除感应电极和负电极外，还有一与外部稳压电路连通的参考电极。用于稳定感应电极的电动势，避免感应电动势超出范围，使测量值出现非线性的情况。

型号	量程	使用寿命	响应时间	灵敏度	分辨率	负载电阻	基线偏移	过滤器
B2H6 3E 1 LT	0-1ppm	2年	＜30s	2200±500nA/ppm	--	1.5KΩ	＜±20nA	无